Wafer Handling Robots - 半導体ウェハー搬送用 -

複数の加工装置にて加工される半導体ウェハーの搬送を行うロボット。
効率的な半導体製造で重要な役割を担っています。

アームタイプ モデル名 自由度 最大可搬重量
シングルブレード SR8230 3軸 2kg
ダブルブレード SR8240 5軸 2kg
ダブルブレード SR8241 5軸 2kg
アームタイプ モデル名 自由度 最大可搬重量
シングルブレード SR8220 4軸 2kg
ブーメランアーム SR8250 4軸 2kg