Vacuum Environment Adaption Clean Robots
- 真空環境対応クリーンロボット -

OLEDや半導体などの高温、真空環境に対応するクリーンロボットです。

アームタイプ モデル名 基板サイズ 真空度(Pa) 自由度
スカラタイプ SR8651 5.5G 1.33×10-2 5軸
スカラタイプ SR8652 5.5~6G 1.33×10-2 5軸
リニアガイドタイプ SR8653 8G 1.33×10-2 5軸
アームタイプ モデル名 真空度(Pa) 自由度
ダブルアーム ダブルブレードタイプ SR8607 1.33×10-2 5軸
ダブルアーム ブーメランタイプ SR8608 1.33×10-2 4軸