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運営会社： 日本電産サンキョーサービスエンジニアリング（株）
大型液晶ガラス基板の安定搬送に威力を発揮。
液晶・半導体分野で活躍する
のクリーン搬送ロボットは、大型液晶ガラス基板搬送において、スピード制御とハンド形状ノウハウが実現した安定搬送、また高剛性、高信頼性、省エネルギーといったメリットが広く認められ、第５〜１０世代の大型液晶ガラス基板対応工場への多数の採用実績を築いています。また、クリーン度クラス１のウェハーハンドリングロボット、真空内ハンドリングロボットをラインアップし、クリーンルームでの搬送ニーズに高品質でお応えしています。
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特長
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クリーン度Class1対応
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ハンドにはセラミック材質、カーボン材質をベースにメカニカルエッジ
グリップ方式もラインナップ
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画期的なメカニズムとアドヴァンスモーションコントロール制御により高速かつスムーズな直線動作を実現
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ブラシレスACサーボは高分解能アブソリュートエンコーダーを持ち高速かつ原点復帰不要。画期的スプールプットを実現
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MTBF50,000時間の信頼性
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特長
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アプリケーションに応じ複数のカセットに対応
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AGV対応
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ガラス基板位置補正機能付き
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CIMに対応可能
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特長
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Z軸のスピードアップによりサイクルタイムが大幅に短縮
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全軸ACサーボモータ採用
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アブソリュートエンコーダ内蔵により原点復帰動作が不要
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外部配線・配管無しのすっきりしたデザイン
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特長
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マルチタスク制御 複数台のロボット、周辺装置を同時に制御可能
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フルデジタルサーボ 現代制御理論に基づくサーボコントロール
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ステッパ３軸まで動作可能 ドライバーを用意すれば、３軸までステッパ動作可
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オープンフィールドバス対応 デバイスネット等対応予定
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ホスト通信機能標準装備 Ethernet,RS232C経由でＰＣから通信制御可能
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Buzz2（標準添付） Windows版アプリケーション統合開発環境が進化
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GUI液晶ペンダント 大型液晶タッチパネルティーチングペンダント
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のクリーン搬送ロボットは、大型液晶ガラス基板搬送において、スピード制御とハンド形状ノウハウが実現した安定搬送、また高剛性、高信頼性、省エネルギーといったメリットが広く認められ、第５〜１０世代の大型液晶ガラス基板対応工場への多数の採用実績を築いています。また、クリーン度クラス１のウェハーハンドリングロボット、真空内ハンドリングロボットをラインアップし、クリーンルームでの搬送ニーズに高品質でお応えしています。
